[发明专利]对准标记的中心坐标的生成方法有效
| 申请号： | 202010000526.5 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111142343B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 方红;姜鹏;黄乐 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对准 标记 中心 标的 生成 方法 | ||
1.一种对准标记的中心坐标的生成方法，其特征在于，包括以下步骤：
取得至少一个对准标记单元,所述对准标记单元至少包括对准标记；
对所述对准标记单元提取所述对准标记的至少一部分,建立所述对准标记的映对标记；以及
就所述映对标记,计算出所述映对标记的中心坐标。
2.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述映对标记为所述对准标记中,具有对称性的部分标记。
3.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述映对标记为所述对准标记的整个对准标记。
4.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述映对标记被建立在一个映对标记图层中。
5.根据权利要求4所述的生成方法，其特征在于：所述映对标记图层包括有多个映对标记，所述多个映对标记对应于来自多层芯片器件图层中的至少一层的多个对准标记。
6.根据权利要求4所述的生成方法，其特征在于，在所述计算出所述映对标记的中心坐标后还包括有：在所述映对标记图层中，根据所述中心坐标形成完整的所述对准标记单元。
7.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述对准标记单元还包括有参考信号，用以识别所述对准标记。
8.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述对准标记单元来自于多层芯片器件图层的至少一层。
9.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于：所述中心坐标系藉由中心坐标脚本对所述映对标记进行计算而得到。
10.根据权利要求1所述的生成方法，其特征在于，在所述计算出所述映对标记的中心坐标后还包括有：编写程序化脚本，用以重复步骤的执行。
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