[发明专利]带电粒子显微镜装置及其视野调整方法在审
| 申请号： | 201980100022.6 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN114342036A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 小林光俊;宫本敦;星野吉延 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在带电粒子显微镜装置中的视野调整方法中，设定试样的参照数据，针对参照数据设定多个关心区域，针对多个关心区域的各区域设定稀疏的采样坐标组，根据采样坐标组对试样照射带电粒子而得到对应的像素值组，根据像素值组生成与多个关心区域对应的多个重构图像，根据多个重构图像推定多个关心区域的对应关系，根据对应关系调整多个关心区域。在此，采样坐标组的设定根据参照数据来进行。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 显微镜 装置 及其 视野 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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