[发明专利]带电粒子显微镜装置及其视野调整方法

说明书

在带电粒子显微镜装置中的视野调整方法中，设定试样的参照数据，针对参照数据设定多个关心区域，针对多个关心区域的各区域设定稀疏的采样坐标组，根据采样坐标组对试样照射带电粒子而得到对应的像素值组，根据像素值组生成与多个关心区域对应的多个重构图像，根据多个重构图像推定多个关心区域的对应关系，根据对应关系调整多个关心区域。在此，采样坐标组的设定根据参照数据来进行。

技术领域

本发明涉及带电粒子显微镜装置及其视野调整方法。

背景技术

在带电粒子显微镜的拍摄方法中，为了抑制对试样造成的损伤，有专利第6192682号公报(专利文献1)所记载的技术。专利文献1中记载了“根据本发明，组{Sn}的浓度N(尺寸)是选择的问题，且可以按照各种因素，例如期望的累积测定时间和/或拍摄的清晰度、试样的损坏容易度等进行选择”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第6192682号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明以为了正式拍摄的视野调整而进行的预备拍摄为对象。在专利文献1的方法中，与通过预备拍摄对试样进行全采样的情况相比，能够维持视野调整的精度并且抑制对观察对象造成的损伤。但是，未对一次选择出的浓度N进行调整，因此，存在难以设定所需最小限度的浓度这样的课题。

因此，本发明的目的在于提供一种能够维持视野调整的精度并且使对试样造成的损伤为最小限度的技术。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，关于代表性的本发明的带电粒子显微镜装置及其视野调整方法之一，设定试样的参照数据，针对所述参照数据设定多个关心区域，按照所述多个关心区域的各区域设定稀疏的采样坐标组，根据所述采样坐标组对所述试样照射带电粒子而得到对应的像素值组，根据所述像素值组生成与所述多个关心区域对应的多个重构图像，根据所述多个重构图像推定所述多个关心区域的对应关系，根据所述对应关系调整所述多个关心区域。在此，采样坐标组的设定根据所述参照数据来进行。其他的本发明的观点通过用于实施发明的方式来明确。

发明效果

根据本发明，能够维持视野调整的精度并且使对试样造成的损伤为最小限度。

附图说明

图1A是示出了作为本发明的一实施方式的扫描型电子显微镜装置的概略结构的一例的框图。

图1B是表示作为本发明的一实施方式的扫描型电子显微镜装置的概略结构中的图像处理部的结构的框图。

图2是示出了与在图3的说明中使用的试样的低倍率图像、按关心区域设定的稀疏的采样坐标组以及关心区域的重构图像相关的一例的图。

图3是示出了实施例1的视野调整处理的一例的流程图。

图4是在低倍率图像上或重构图像上表示稀疏的采样坐标组的GUI的画面例。

图5是示出了与在图6的说明中使用的试样的低倍率图像以及按关心区域设定的稀疏的采样坐标组相关的一例的图。

图6是示出了在实施例1的步骤S303中使每个关心区域的稀疏的采样数不同地进行设定的例子的流程图。

图7是示出了与在图8的说明中使用的试样的低倍率图像以及按关心区域设定的稀疏的采样坐标组相关的一例的图。

图8是示出了在实施例1的步骤S303中将与代表关心区域相同的位置关系的采样坐标组设定于其他关心区域的例子的流程图。

图9是示出了与在实施例2的说明中使用的稀疏的采样坐标组、合并采样坐标组以及它们的重构图像相关的一例的图。