[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法以及显示装置在审

专利信息
申请号: 201980096774.X 申请日: 2019-06-04
公开(公告)号: CN113875022A 公开(公告)日: 2021-12-31
发明(设计)人: 大田裕之 申请(专利权)人: 堺显示器制品株式会社
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 郝家欢
地址: 日本国大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 薄膜晶体管(101)具有:活性层(7),被基板(1)支承,且包括第一区域(7S)、第二区域(7D)和位于第一区域与第二区域之间的沟道区域(7C);栅电极(11),其以隔着栅极绝缘层(9)与活性层(7)的至少沟道区域重叠的方式配置;源电极(15s),其与第一区域(7S)电连接;以及漏电极(15d),其与第二区域(7D)电连接,活性层(7)的至少沟道区域(7C)具有层叠构造,该层叠构造含:配置在下部氧化物半导体层(71)上且实质上不含氧的第一金属层(m1)以及配置在第一金属层(m1)上的上部氧化物半导体层(72),第一金属层(m1)的厚度小于下部氧化物半导体层(71)或上部氧化物半导体层(72)的厚度。
搜索关键词: 薄膜晶体管 及其 制造 方法 以及 显示装置
【主权项】:
暂无信息
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