[发明专利]成像质量分析装置

摘要

本发明的一方案的成像质量分析装置具备：分析执行部(1)，对于设定在试样(5)上的二维的测量区域(50)内的多个微小区域分别执行针对目标成分的MSn分析来收集数据；离子选择部(21)，基于由分析执行部(1)得到的数据的至少一部分，选择源自目标成分或者推定为源自目标成分的多种产物离子；分布图像创建部(22)，利用针对多种产物离子各自的测量区域内的各微小区域中的信号强度，推定在该测量区域之中这些多种产物离子均被检测出的小区域、或者所述多种产物离子共同源自所述目标成分的可靠性较高的小区域，创建将该小区域可视化的分布图像。由此，相比于使用1种产物离子的情况，能够创建精度较高的MS成像图像。