[发明专利]成像质量分析装置

权利要求书

1.一种成像质量分析装置，其特征在于，具备：

分析执行部，对于设定在试样上的二维的或者试样中的三维的测量区域内的多个微小区域分别执行针对目标成分的MSⁿ分析并收集数据，其中，n为2以上的整数；

离子选择部，基于由所述分析执行部得到的数据的至少一部分，选择源自所述目标成分或者推定为源自所述目标成分的多种产物离子；

分布图像创建部，利用针对所述多种产物离子各自的所述测量区域内的各微小区域中的信号强度，推定在该测量区域之中，这些多种产物离子均被检测出的小区域、或者所述多种产物离子共同源自所述目标成分的可靠性较高的小区域，创建将该小区域可视化的分布图像。

2.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，

所述分布图像创建部求出所述多种产物离子分别被检测到的区域重叠的小区域，创建将该小区域可视化的分布图像。

3.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，

所述分布图像创建部求出将所述多种产物离子的信号强度的比收敛在规定范围的微小区域集合而成的小领域，创建将该小区域可视化的分布图像。

4.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，进一步具备：

校准曲线存储部，提前存储分别利用源自所述目标成分的多种产物离子而预先创建的多个校准曲线；

浓度图像创建部，对通过所述分布图像创建部创建的分布图像中的每个微小区域，使用存储至所述校准曲线存储部的所述多个校准曲线中的一个，将信号强度转换为浓度，创建示出浓度的分布的图像。

5.如权利要求4所述的成像质量分析装置，其特征在于，

所述浓度图像创建部在与所述分布图像中使用的产物离子对应的校准曲线不存在于所述多个校准曲线之中的情况下，在该多个校准曲线之中，使用对于所述产物离子的可靠性最高的校准曲线来算出浓度。

6.如权利要求1所述的成像质量分析装置，其特征在于，进一步具备：

校准曲线存储部，提前存储分别利用源自所述目标成分的多种产物离子而预先创建的多个校准曲线；

浓度图像创建部，对由所述分布图像创建部创建的分布图像中的每个微小区域，使用存储至所述校准曲线存储部的所述多个校准曲线并根据信号强度求出多个浓度，从该多个浓度中选择一个或者通过计算得出一个，基于各微小区域的浓度，创建示出浓度的分布的图像。