[发明专利]倾斜表面浮雕结构上的外覆层的平坦化在审
| 申请号： | 201980093193.0 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN113574441A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 尼哈尔·兰詹·莫汉蒂 | 申请（专利权）人： | 脸谱科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B27/01 | 分类号： | G02B27/01;B29D11/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 韩辉峰;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于在倾斜表面浮雕结构上产生外覆层的技术以及使用该技术获得的设备。在一些实施例中，平坦化表面浮雕结构上的外覆层的方法包括使用离子束以掠射角移除外覆层的一部分。外覆层包括平坦表面部分和非平坦表面部分。每个非平坦表面部分包括第一倾斜侧和面向第一倾斜侧的第二倾斜侧。掠射角被选择成使得每个非平坦表面部分的第一倾斜侧相对于离子束被相邻的平坦表面部分遮蔽，从而离子束不会到达每个非平坦表面部分的至少第一倾斜侧，而是到达每个非平坦表面部分的第二倾斜侧。 | ||
| 搜索关键词： | 倾斜 表面 浮雕 结构 覆层 平坦 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于脸谱科技有限责任公司，未经脸谱科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980093193.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
