[发明专利]微小构造体移载装置、模板头单元、微小构造体移载用模板部件及微小构造体集成部件的移载方法在审
| 申请号： | 201980091218.3 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN113396485A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 中川秀夫;小川敬典;松本展明;上田修平;大堀敬司;大竹滉平 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;刘言 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为一种模板头单元，其包含：模板部件，其在石英玻璃基板上至少具备有机硅类橡胶膜；模板部件保持部件，其具备具有孔的面，该孔用于对前述模板部件的石英玻璃基板面进行真空抽吸；以及，管状部件，其具有排气抽吸孔且与前述模板部件保持部件结合固定，该排气抽吸孔以能够保持真空的状态与前述用于进行真空抽吸的孔连通连接。由此，提供一种能够通过简便的真空卡盘方式稳定地固定的模板部件、能够在短时间内对该模板部件进行更换的模板头单元、以及具备该模板部件、模板头单元的微小构造体移载装置。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 构造 体移载 装置 模板 单元 体移载用 部件 集成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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