[发明专利]MEMS反光镜装置以及其制造方法有效
| 申请号： | 201980090713.2 | 申请日： | 2019-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN113366368B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 平田善明;绀野伸显;伊藤恭彦;梶山佳敬 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李鹏宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。 | ||
| 搜索关键词： | mems 反光镜 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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