[发明专利]工件保持夹具以及电镀装置在审
| 申请号： | 201980089805.9 | 申请日： | 2019-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113330146A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 村越雅弘;奥田朋士;西元一善 | 申请（专利权）人： | 上村工业株式会社 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;H01L21/683;H05K3/18;C25D17/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 林露 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种工件保持夹具(1A)，包括第一框体(11)和第二框体(12)，两个框体(11、12)分别具有：主体(13)；导电构件(15)；设置成能与工件(10)的周缘部电接触的接触构件(16)；以及遍及主体(13)的整周设置的内周密封构件(17)，两个框体(11、12)在各个内周密封构件(17)以及接触构件(16)从两侧与工件(10)的周缘部抵接的状态下构成对工件(10)的周缘部、两个框体(11、12)的导电构件(15)、两个框体(11、12)的接触构件(16)进行收容的密封空间，第一框体(11)和/或第二框体(12)具有用于将液体填充于密封空间的液体注入口，此外，具有用于将密封空间内的空气排气的排气口。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 保持 夹具 以及 电镀 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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