[发明专利]工件保持夹具以及电镀装置

权利要求书

1.一种工件保持夹具，用于对作为电镀处理的被处理物的板状工件进行保持，其特征在于，

包括第一构件和第二构件，将所述工件保持在两个所述构件之间，

所述第一构件以在与所述第二构件之间对所述工件的周缘部进行保持的方式安装于所述第二构件，

所述第一构件和所述第二构件中的至少一方是框体，

所述框体具有：环状的主体；导电构件；接触构件，所述接触构件设置成以能与所述工件的所述周缘部电接触的方式与所述导电构件电连接；以及内周密封构件，所述内周密封构件以遍及所述主体的整周的方式设置于比所述接触构件更靠内侧的位置，

所述第一构件和所述第二构件在所述内周密封构件以及所述接触构件与所述工件的所述周缘部抵接的状态下构成对所述工件的所述周缘部、所述导电构件和所述接触构件进行收容的密封空间，

所述第一构件和/或所述第二构件具有用于将液体填充于所述密封空间的液体注入口，

所述第一构件和/或所述第二构件具有用于将所述密封空间内的空气排气的排气口。

2.如权利要求1所述的工件保持夹具，其特征在于，

所述排气口在使所述液体注入口朝向上方的状态下存在于比所述液体注入口更高的位置。

3.如权利要求1或2所述的工件保持夹具，其特征在于，

所述第一构件和所述第二构件两者是框体，

两个所述框体分别具有所述主体、所述导电构件、所述接触构件和所述内周密封构件，

两个所述框体在各个所述内周密封构件以及所述接触构件从两侧与所述工件的所述周缘部抵接的状态下构成对所述工件的所述周缘部、两个所述框体的所述导电构件、两个所述框体的所述接触构件进行收容的密封空间。

4.如权利要求1至3中任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，

所述导电构件遍及所述主体的整周设置，并具有在整周的任意点呈现大致相等的电阻值的、宽度大且壁厚大的形态。

5.如权利要求1至4中任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，

所述内周密封构件具有接触凸部、插入凸部和平面部，

所述插入凸部插入到形成于所述主体的槽部，

所述平面部被所述接触构件的前端部向所述主体按压，

所述接触凸部在比所述接触构件的所述前端部更靠内侧的位置处以与所述插入凸部相反的方向且越过所述平面部的方式突出，

所述接触凸部的内侧面向外倾斜。

6.如权利要求1至5中任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，

所述接触构件是具有许多并排设置的、用于与所述工件的所述周缘部电接触的板簧状接触端子的梳齿状接触构件。

7.如权利要求6所述的工件保持夹具，其特征在于，

所述主体呈矩形，

所述梳齿状接触构件设置成在所述主体的各边中连续或分割。

8.一种电镀装置，包括权利要求1至7中任一项所述的工件保持夹具，通过所述工件保持夹具对所述工件进行保持，来对保持后的所述工件实施电镀处理，其特征在于，包括：

镀覆处理槽，所述镀覆处理槽对镀液进行收容，并对所述工件进行电镀处理；以及

搬运机构，所述搬运机构将保持有所述工件的所述工件保持夹具相对于所述镀覆处理槽搬入搬出，

在所述工件保持夹具的所述密封空间填充有不含金属盐的液体。

9.如权利要求8所述的电镀装置，其特征在于，

所述液体是自来水、天然水或纯净水，

所述纯净水是去离子水、蒸馏水、净化水或RO纯水。

10.一种液体填充方法，将液体填充于权利要求1至7中任一项所述的工件保持夹具的所述密封空间，其特征在于，

所述液体填充方法具有浸渍工序，在所述浸渍工序中，将所述工件保持夹具浸渍在液体中，

在所述浸渍工序中，使所述液体注入口位于比所述液体的液面靠下方的位置，且使所述排气口位于比所述液面靠上方的位置，并且使所述工件保持夹具整体以排气侧变高的方式倾斜。