[发明专利]带载体的金属箔、以及使用其的毫米波天线基板的制造方法在审
申请号: | 201980073906.7 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN112969580A | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 小宫未希子;柳井威范;石井林太郎;松浦宜范 | 申请(专利权)人: | 三井金属矿业株式会社 |
主分类号: | B32B15/04 | 分类号: | B32B15/04;H05K1/09 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种带载体的金属箔,其载体的剥离性及金属层的选择蚀刻性优异,使用其制造的半导体封装体(例如毫米波天线基板)能够实现传输损耗及电阻的降低。该带载体的金属箔具备:(a)载体;(b)剥离功能层,其设置在载体上;以及(c)复合金属层,其设置在剥离功能层上,所述(b)剥离功能层包含:(b1)密合层,其在靠近载体的一侧,厚度大于10nm且小于200nm;以及(b2)剥离辅助层,其在远离载体的一侧,厚度为50nm以上且500nm以下,所述(c)复合金属层包含:(c1)碳层,其在靠近剥离辅助层的一侧;以及(c2)第1金属层,其在远离剥离辅助层一侧,主要由Au或Pt构成。 | ||
搜索关键词: | 载体 金属 以及 使用 毫米波 天线 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三井金属矿业株式会社,未经三井金属矿业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980073906.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。