[发明专利]具有硅、锆和氧的导电溅射靶在审
| 申请号： | 201980073212.3 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112996947A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | I·卡雷蒂吉安加斯普罗;W·C·S·德博斯谢尔;D·K·德布鲁恩;G·国彬;F·法克;H·埃利亚诺 | 申请（专利权）人： | 梭莱先进镀膜工业公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C4/10;C23C4/04;C23C4/18 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 王海宁 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
用于溅射的靶(100)，其包含SiZr |
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| 搜索关键词： | 具有 导电 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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