[发明专利]通过组合一组预定义的分离掩模创建不同设计的方法在审
| 申请号： | 201980069378.8 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN113168104A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 苏海尔·加拉希 | 申请（专利权）人： | 北冥投资有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 范海云 |
| 地址： | 广东省深圳市福田*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明描述用于通过利用多个分离制造掩模的组来实现创建多个类似设计的方法。可基于第一光刻曝光从半导体衬底的裸片区域的第一部分中的材料层形成第一组装置特征。可基于所述第一光刻曝光之后的第二光刻曝光而从所述半导体衬底的所述裸片区域的第二部分中的所述材料层形成第二组装置特征。所述裸片区域的所述第一部分与所述裸片区域的所述第二部分可不重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 组合 一组 预定 分离 创建 不同 设计 方法 | ||
【主权项】：
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