[发明专利]物镜排列在审
| 申请号： | 201980067805.9 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112868081A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | I·佩特罗夫;Z·罗森伯格;A·巴德 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | H01J37/145 | 分类号： | H01J37/145;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种物镜排列，可包括磁性透镜和静电透镜。磁性透镜可包括一个或更多个线圈、上部磁极片和下部磁极片。静电透镜可包括上部电极、内部下部电极和外部下部电极。内部下部电极的主要部分可由外部下部电极的主要部分环绕。上部电极、内部下部电极和外部下部电极沿着物镜排列的光轴而以同轴关系排列。外部下部电极的底部孔洞的面积可不超过内部下部电极的底部孔洞的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 物镜 排列 | ||
【主权项】：
暂无信息
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