[发明专利]物镜排列

说明书

一种物镜排列，可包括磁性透镜和静电透镜。磁性透镜可包括一个或更多个线圈、上部磁极片和下部磁极片。静电透镜可包括上部电极、内部下部电极和外部下部电极。内部下部电极的主要部分可由外部下部电极的主要部分环绕。上部电极、内部下部电极和外部下部电极沿着物镜排列的光轴而以同轴关系排列。外部下部电极的底部孔洞的面积可不超过内部下部电极的底部孔洞的面积。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年10月15日提交的美国申请第16/160,906号的权益，其内容通过引用全部结合于此。

背景技术

通常在扫描电子显微镜中采用带电粒子束柱，扫描电子显微镜在半导体器件的制造中为广泛使用的已知技术，而在关键尺寸(CD)度量工具、所谓的CD扫描电子显微镜(SEM)以及缺陷检查SEM(DR-SEM)中利用。

在SEM中，待检查的物体区域通过带电粒子(通常为电子)的聚焦的主光束的手段而二维地扫描。以主电子束辐射物体释放二次电子和/或背向散射电子。

二次电子于主电子束入射处的物体的侧边释放，且移回以由检测器捕捉，检测器产生与所检测的电流成正比的输出电信号。二次电子的能量分布或能量表明物体的性质及成分。

所有成像系统的一个共同目标包括增加图像分辨率以提供纳米规模的分辨率。

产生具有纳米规模的分辨率的图像需要复杂的光学组件，并且与像差和光束漂移相关联。

对于提供简化SEM的光学组件并且展现低的像差的物镜排列具有增长的需求。

发明内容

可提供如说明书和附图中的至少一者中所述的物镜排列。

附图说明

视为本发明的主题在说明书的结论部分中特别指出且明确主张。然而，当与随附附图一起阅读时，本发明的组织及操作方法两者一起连同本发明的目标、特征及优点可参考以下具体实施方式而最佳地理解，其中：

图1图示SEM的物镜排列、物体及附加部件的示例；

图2图示物镜排列的一些部件以及物体的示例；并且

图3图示内部下部电极的示例。

具体实施方式

在以下详细说明中，阐明数个特定细节以便提供本发明的透彻理解。然而，本领域技术人员应理解在无须这些特定细节下仍可实践本发明。在其他实例中，并未详细叙述熟知方法、程序及部件，以便不模糊本发明。

视为本发明的主题在说明书的结论部分中特别指出且明确主张。然而，当与随附附图一起阅读时，本发明的组织及操作方法两者一起连同本发明的目标、特征及优点可参考以下详细说明而最佳地理解。

应理解为了图示的简化及清楚，附图中显示的组件并非必须按照尺寸绘制。举例而言，为了清楚起见，一些组件的尺寸可相对于其他组件而夸大。再者，当考虑为适当时，可在附图之中重复附图标记以代表相对应或类似的组件。

因为本发明的图示实施例大部分可使用本领域技术人员已知的电子部件及电路实施，所以细节的解释将不会超出如上文图示般认为必要的范围，为了理解并了解本发明的基本概念，并且为了不混淆或分散本发明的教示。

在说明书中对方法的任何参考应经适当修改应用至能够执行方法的系统。

在说明书中对系统的任何参考应经适当修改应用至可由系统执行的方法。

图1图示物体20、物镜排列11、透镜中检测器70和夹盘10。

夹盘10支撑物体20。

物镜排列11包括磁透镜50和静电透镜。