[发明专利]基于设计及噪声的关注区域有效
| 申请号： | 201980067471.5 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN112840205B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | B·达菲;M·普利哈尔;E·索尔塔默罕默德;G·罗素;S·巴塔查里亚;C·马厄 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88;G06T7/00;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于设置具有基于设计及噪声的关注区域的样品的检验的方法及系统。一个系统包含经配置用于产生样品的基于设计的关注区域的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置用于针对所述样品上的所述关注区域的多个例子确定一或多个输出属性，且从由输出获取子系统针对所述多个例子产生的输出确定所述一或多个输出属性。所述计算机子系统进一步经配置用于将所述样品上的所述关注区域的所述多个例子分离成不同关注区域子群组，使得所述不同关注区域子群组具有所述输出属性的统计上不同值且基于所述不同关注区域子群组而选择所述样品的检验配方的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 设计 噪声 关注 区域 | ||
【主权项】：
暂无信息
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