[发明专利]基于设计及噪声的关注区域

权利要求书

1.一种经配置用于设置具有基于设计及噪声的关注区域的样品的检验的系统，所述系统包括：

输出获取子系统，其包括至少一能量源及至少一检测器，其中所述能量源经配置以产生被引导到样品的能量，且其中所述检测器经配置以检测来自所述样品的能量且响应于所检测能量而产生输出；及

一或多个计算机子系统，其经配置用于：

基于所述样品的设计而产生所述样品的关注区域，其中所述关注区域定义含有所关注图案的所述设计的一部分；

针对所述样品上的所述关注区域的多个例子确定一或多个输出属性，其中从由所述输出获取子系统针对所述多个例子产生的所述输出确定所述一或多个输出属性；

基于所述一或多个输出属性将所述样品上的所述关注区域的所述多个例子分离成不同关注区域子群组，使得所述不同关注区域子群组具有所述一或多个输出属性的统计上不同值；且

基于所述不同关注区域子群组而选择所述样品的检验配方的参数，使得在针对所述样品执行所述检验配方时，用所述参数的不同值检验具有所述一或多个输出属性的所述统计上不同值的所述不同关注区域子群组。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个输出属性中的至少一者是噪声属性。

3.根据权利要求1所述的系统，其中从其确定所述一或多个输出属性的所述输出是由所述检测器针对所述样品产生的输出。

4.根据权利要求1所述的系统，其中从其确定所述一或多个输出属性的所述输出是运用所述输出获取子系统的一个以上模式针对所述样品产生的输出。

5.根据权利要求1所述的系统，其中基于所述设计产生所述样品的所述关注区域包括在所述设计中搜索所述所关注图案。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述检验配方的所述参数的所述不同值包括在所述检验配方中用于检测所述样品上的缺陷的缺陷检测方法的不同灵敏度。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述所关注图案具有第一所关注图案类型，其中另一关注区域定义含有具有第二所关注图案类型的另一所关注图案的所述设计的另一部分，且其中分别针对所述关注区域及所述另一关注区域执行所述产生、确定、分离及选择。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于针对所述样品上的所述关注区域的所述多个例子中的一或多者确定依据所述关注区域内的位置而变化的所述一或多个输出属性且基于依据所述位置而变化的所述一或多个输出属性将所述关注区域分离成两个或更多个不同子关注区域，使得所述两个或更多个不同子关注区域具有所述一或多个输出属性的统计上不同值。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述检验配方包括应用于由所述输出获取子系统针对所述样品产生的所述输出以借此检测所述样品上的缺陷的缺陷检测方法，且其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于基于相对于所述样品的所述设计确定的所述缺陷的位置而识别哪些所述缺陷为系统缺陷。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于通过对少于所述样品上的所述关注区域的全部所述多个例子取样而选择针对其确定所述一或多个输出属性的所述关注区域的所述多个例子，其中基于所述一或多个输出属性中的预期裸片级变动而执行所述取样，且其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于基于经确定一或多个输出属性而确定所述关注区域的所述一或多个输出属性中的实际裸片级变动。

11.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于通过对少于所述样品上的所述关注区域的全部所述多个例子取样而选择针对其确定所述一或多个输出属性的所述关注区域的所述多个例子，其中基于所述一或多个输出属性中的预期样品级变动而执行所述取样，且其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置用于基于经确定一或多个输出属性而确定所述关注区域的所述一或多个输出属性中的实际样品级变动。