[发明专利]分立金属-绝缘体-金属(MIM)能量存储部件和制造方法有效

专利信息
申请号: 201980066444.6 申请日: 2019-10-07
公开(公告)号: CN112823403B 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 文森特·德马里斯;里卡德·安德森;穆罕默德·阿明·萨利姆;玛丽亚·比隆德;安德斯·约翰逊;弗雷德里克·利尔耶贝格;奥拉·特维曼;M·沙菲克·卡比尔 申请(专利权)人: 斯莫特克有限公司
主分类号: H01G4/008 分类号: H01G4/008;H01G4/06;H01G11/04;H01G11/36;H01L27/02;H05K1/18;B82B1/00;B82Y40/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 唐京桥;杨林森
地址: 瑞典*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种分立金属‑绝缘体‑金属(MIM)能量存储部件,该能量存储部件包括:MIM布置;用于电容器部件的外部电连接的第一连接结构;用于电容器部件的外部电连接的第二连接结构;以及至少部分地嵌入MIM布置的电绝缘封装材料。该MIM布置包括:第一电极层;从第一电极层生长的多个传导纳米结构;传导控制材料,其覆盖多个传导纳米结构中的每个纳米结构以及未被传导纳米结构覆盖的第一电极层;以及覆盖传导控制材料的第二电极层。
搜索关键词: 分立 金属 绝缘体 mim 能量 存储 部件 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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