[发明专利]包括吸气剂的气密壳体、并入这样的气密壳体的光电部件或MEMS装置、以及相关的制造方法在审
| 申请号： | 201980064548.3 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112930318A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | S·莱梅特;D·比内尔;J·莫林;A·博塞博夫 | 申请（专利权）人： | 丽瑞德公司;巴黎萨克雷大学;法国国家科学研究中心 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及光电部件(11)或MEMS装置用的气密壳体(10a)，其配置为形成其中低压或真空为主的腔室(12)，所述气密壳体包括：对感兴趣的至少一个波长(λ)透明的光学窗口(14)；和吸气剂材料层(15a)，其配置为捕获存在于该腔室中的气体并沉积在与腔室相对的光学窗口上。该吸气剂材料的厚度(e |
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| 搜索关键词： | 包括 吸气 气密 壳体 并入 这样 光电 部件 mems 装置 以及 相关 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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