[发明专利]具有垂直铰链的MEMS显示装置在审
| 申请号： | 201980064026.3 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112771428A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 房雄·石井;维克托·斯通;鸟俊孝 | 申请（专利权）人： | 依格耐特有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02B26/12;G02F1/29;G03F7/027;G03F7/038 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机电系统装置，包括：基板，每个电路，止蚀层和安装在该基板上的铰链基座；以及与该电路连接的电极。铰链安装在基座上，并由掺杂半导体制成。铰链包括从基座垂直延伸的垂直支撑件，水平延伸的铰接片接触垂直支撑件。该装置还包括可移动的反射镜和反射镜通孔，该反射镜通孔将反射镜连接到铰接片。响应于在电极与反射镜之间施加电压，反射镜被静电吸引到电极上，反射镜的移动改变了铰接片与垂直支撑件之间的相对位置。止动件安装在基板上，在反射镜接触电极或止蚀层之前机械地停止反射镜移动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 垂直 铰链 mems 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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