[发明专利]在晶片上检测缺陷的系统、计算机实施方法及可读媒体

摘要

本发明提供用于在晶片上检测逻辑区域中的缺陷的方法及系统。一种方法包含获取晶片的逻辑区域中的不同类型的基于设计的关注区的信息。所述方法还包含：将所述不同类型的所述基于设计的关注区指定为不同类型的子区域；及针对所述逻辑区域内的局部区，将定位于所述局部区中的所述子区域的两个或更多个例子指派给超区域。另外，所述方法包含针对指派给所述超区域的所述子区域的所述两个或更多个例子的全部产生一个散布图。所述一个散布图经产生具有针对输出的不同分段值，其对应于所述不同类型的所述子区域。所述方法进一步包含基于所述一个散布图检测所述子区域中的缺陷。