[发明专利]光检测模块以及光检测装置

摘要

本发明提供一种可以同轴进行去往试样的光的照射和来自试样的检查光的检测、不易受杂散光的影响的小型光检测模块。本发明的光检测模块具有：光源，其出射去往试样的照射光；分束器，其朝输入输出口反射照射光，而且使通过输入输出口入射的来自试样的检查光透过；受光元件，其接收检查光；以及壳体，其内置分束器，而且具有第1开口、第2开口、第3开口以及第4开口，所述第1开口设置光源而供照射光传播，所述第2开口相当于输入输出口，所述第3开口设置受光元件，所述第4开口引导照射光当中透过了分束器的杂散光，第1开口至第4开口在分束器的位置上相互连通，第4开口沿与分束器的反射面正交的方向延伸。