[发明专利]微机械惯性传感器在审
| 申请号： | 201980053934.2 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN112543873A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | M·科斯特;J·拜恩特纳;S·基泽尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底(10)；‑至少两个相同的、分别具有可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)的z传感器芯(20、30)，其中，所述可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)能够分别围绕扭转轴(22、32)扭转；‑其特征在于，这两个z传感器芯(20、30)相对彼此扭转180°地布置在所述衬底(10)上。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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