[发明专利]微机械惯性传感器在审
| 申请号： | 201980053934.2 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN112543873A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | M·科斯特;J·拜恩特纳;S·基泽尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 惯性 传感器 | ||
1.微机械惯性传感器(100)，所述微机械惯性传感器具有：
-衬底(10)；
-至少两个相同的、分别具有可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)的z传感器芯(20、30)，其中，所述可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)能够分别围绕扭转轴(22、32)扭转；
-其特征在于，这两个z传感器芯(20、30)相对彼此扭转180°地布置在所述衬底(10)上。
2.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器(100)，所述微机械惯性传感器还具有两个x传感器芯(40、50)和/或两个y传感器芯(60、70)。
3.根据权利要求2所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述传感器芯(20、30、40、50、60、70)的至少一部分的输出信号彼此分开地向外引导。
4.根据权利要求2所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述传感器芯(20、30、40、50、60、70)的至少一部分的输出信号在所述惯性传感器(100)内部联合并且以联合的方式向外引导。
5.根据前述权利要求中任一项所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述微机械惯性传感器(100)是加速度传感器或转速传感器。
6.用于制造微机械惯性传感器(100)的方法，所述方法具有以下步骤：
-提供衬底(10)；
-在所述衬底(10)上提供至少两个相同的、分别具有可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)的z传感器芯(20、30)，其中，所述可运动的非对称的振动质量(21a、21b、31a、31b)构造成能够分别围绕扭转轴(22、32)扭转，其中，这两个z传感器芯(20、30)相对彼此扭转180°地布置在所述衬底(10)(10)上。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，在所述衬底(10)上还布置有两个x传感器芯(40、50)和/或两个y传感器芯(60、70)。
8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，至少两个彼此对应的传感器芯(20、30、40、50、60、70)的信号在所述微机械惯性传感器(100)内部互联并且向外引导。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的方法，其中，至少两个彼此对应的传感器芯(20、30、40、50、60、70)的信号分开地向外引导。
10.一种微机械惯性传感器(100)的作为转速传感器或加速度传感器的应用。
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