[发明专利]感光性树脂组合物、镀敷方法及金属图案的制造方法在审
| 申请号： | 201980048740.3 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112470075A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 入泽宗利;中村优子;伊藤旭;梶谷邦人 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;C08F2/44;C08F265/06;G03F7/20;G03F7/40;H05K3/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明以提供感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法为课题，对于该感光性树脂组合物而言，即使在窄间距的抗蚀剂图案中也容易进行抗蚀剂剥离，并且在图案形成或镀敷工序中，微细的线或点可稳定地保持在基材上，具有高分辨性；通过以下感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法及金属图案的制造方法而解决上述课题；该感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)丙烯酸酯单体，相对于(C)丙烯酸酯单体，(D)甲基丙烯酸酯单体的含有率为0质量％～5质量％，作为(C)丙烯酸酯单体含有(C1)环氧乙烷改性季戊四醇四丙烯酸酯(以通式(i)表示、l+m+n+o＝24～48的化合物)，相对于(C)总量，(C1)的含有率为30质量％～70质量％。(i) |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 方法 金属 图案 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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