[发明专利]基于机器学习的图案分组方法在审
| 申请号： | 201980046779.1 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN112424826A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 方伟;郭朝晖;朱若宇;李川 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种图案分组方法可以包括：接收第一图案的图像；使用应用于所接收到的图像的训练后的模型参数来生成第一固定维特征向量；以及为第一固定维特征向量分配第一桶ID。该方法还可以包括：响应于确定第一图案不属于与缺陷图案对应的多个桶中的一个来为所述第一固定维特征向量创建新的桶ID；或响应于确定所述第一图案属于与缺陷图案对应的多个桶中的一个，来将所述第一固定维特征向量映射到所述第一桶ID。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 机器 学习 图案 分组 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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