[发明专利]微机械构件及其制造方法在审
| 申请号： | 201980044068.0 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN112469660A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 罗马·福克;卡拉·希拉 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会;开姆尼茨工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 张凯 |
| 地址： | 德国慕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于微机械系统的构件(16)和用于制造构件的方法。构件具有上侧和与上侧相对置的下侧且包括：至少一个第一结构元件，第一结构元件设置在构件(16)的第一区域内并且由至少一个第一间隙(19)界定；以及至少一个第二结构元件，第二结构元件设置在构件(16)的与第一区域(21)不同的第二区域(22)中并且由至少一个第二间隙(20)界定。第一区域(21)通过构件(16)的下侧中的第一凹部(6)限定，其中构件(16)在第一区域(21)中的第一厚度(C)相对于构件(16)在第二区域(22)中的第二厚度(B)减小。至少一个第二间隙(20)的第二最小间隙宽度大于至少一个第一间隙(19)的第一最小间隙宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 构件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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