[发明专利]微机械构件及其制造方法

权利要求书

1.一种用于微机械系统的构件(16)，所述构件具有上侧和与上侧相对置的下侧，所述构件包括：

-至少一个第一结构元件，所述第一结构元件设置在所述构件(16)的第一区域(21)内并且由至少一个第一间隙(19)界定；

-至少一个第二结构元件，所述第二结构元件设置在所述构件(16)的与第一区域(21)不同的第二区域(22)中并且由至少一个第二间隙(20)界定；

其中，通过所述构件(16)的下侧中的第一凹部(6)限定所述第一区域(21)并且所述构件(16)在第一区域(21)中的第一厚度(C)相对于所述构件(16)在第二区域(22)中的第二厚度(B)减小；

其中，所述至少一个第一间隙(19)在第一区域(21)中从上侧延伸到下侧并结束于第一凹部(6)中，并且具有通过所述构件(16)在所述第一区域中的第一厚度(C)限定的第一间隙深度；

其中，所述至少一个第二间隙(20)在第二区域(22)中从上侧延伸到下侧并结束于第一凹部(6)之外，并且具有通过所述构件(16)在所述第二区域(22)中的第二厚度(B)限定的第二间隙深度，所述第二间隙深度大于所述第一间隙(19)的第一间隙深度；以及

其中，所述至少一个第二间隙(20)的第二最小间隙宽度大于所述至少一个第一间隙(19)的第一最小间隙宽度。

2.根据权利要求1所述的构件(16)，其中，通过第一间隙深度与第一最小间隙宽度的比值给定所述至少一个第一间隙(19)的第一最大纵横比；

通过第二间隙深度与第二最小间隙宽度的比值给定所述至少一个第二间隙(20)的第二最大纵横比；

所述第一最大长宽比等于或基本上等于所述第二最大纵横比。

3.根据上述权利要求之一所述的构件(16)，其中，所述至少一个第一结构元件至少在两个至少局部相互平行延伸的、相对置的侧面上由所述至少一个第一间隙(19)界定和/或所述至少一个第二结构元件至少在两个至少局部相互平行延伸的、相对置的侧面上由所述至少一个第二间隙(20)界定，从而所述至少一个第一结构元件或所述至少一个第二结构元件构造成平直或弯曲的板。

4.根据上述权利要求之一所述的构件(16)，其中，在所述第一区域(21)中设置宽度不同的第一间隙(19a、19b)。

5.根据上述权利要求之一所述的构件(16)，所述构件包括框架(1)和能相对于所述框架(1)振动的质量布置系统(4)，其中，所述至少一个第二结构元件包括弹性的弹簧(2)，所述弹簧将所述框架(1)与质量布置系统(4)相互连接，使得所述框架和质量布置系统在弹簧(2)发生变形的情况下能够相对于彼此振动。

6.根据上述权利要求之一所述的构件(16)，所述构件包括框架(1)和能相对于所述框架(1)振动的质量布置系统(4)，其中，所述至少一个第一间隙(19)在所述质量布置系统(4)与所述框架(1)之间延伸或者在所述质量布置系统(4)与相对于所述框架(1)固定设置或能固定设置的锚定结构(27)之间延伸，使得通过所述至少一个第一间隙(19)界定的所述至少一个第一结构元件包括第一电极(3)，所述第一电极与包括与所述锚定结构(27)或所述框架(1)连接的电极元件并且所述第一电极包括与所述质量布置系统(4)连接的电极元件，与所述锚定结构(27)或所述框架(1)连接的电极元件和与所述质量布置系统(4)连接的电极元件相互嵌接并且能相对于彼此运动。

7.根据权利要求5或6所述的构件(16)，其中，所述至少一个第二间隙(20)在所述质量布置系统(4)与所述框架(1)之间延伸或者在所述质量布置系统(4)与相对于所述框架(1)固定设置或能固定设置的锚定结构(27)之间延伸，使得通过所述至少一个第二间隙(20)界定的所述至少一个第二结构元件包括第二电极(7)或阻尼器，所述第二电极或阻尼器与包括与所述锚定结构(27)或所述框架(1)连接的电极元件并且所述第二电极或阻尼器包括与所述质量布置系统(4)连接的电极元件，与所述锚定结构(27)或所述框架(1)连接的电极元件和与所述质量布置系统(4)连接的电极元件相互嵌接并且能相对于彼此运动。