[发明专利]感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法在审
| 申请号： | 201980041666.2 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112368642A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 松田隆之;国松真一 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031;C08F2/44;C08F2/46;G03F7/027;G03F7/033;G03F7/20;H05K3/06;H05K3/18;G03F7/004;G03F7/029 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种适合于在曝光后进行加热，实现更高分辨率的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，其是用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，以感光性树脂组合物的总固体成分质量基准计，包含以下的成分：(A)碱溶性高分子：10质量％～90质量％；(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；以及(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％，(A)碱溶性高分子整体中的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元为15质量％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭化成株式会社，未经旭化成株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980041666.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
