[发明专利]感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法

摘要

本发明提供一种用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物。上述感光性树脂组合物以其总固体成分质量作为基准，包含以下的成分：(A)10质量％～90质量％的碱溶性高分子、(B)5质量％～70质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及(C)0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。上述碱溶性高分子(A)的无机性值(I值)为720以下；或者，上述碱溶性高分子(A)的溶解度参数(sp值)为21.45MPa1/2以下；或者，上述感光性树脂组合物包含以上述感光性树脂组合物中的总固体成分质量为基准计为3质量％以上的碱溶性高分子(A‑1)，所述碱溶性高分子(A‑1)包含52质量％以上的源自作为单体成分的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元。