[发明专利]从电镀槽去除气泡在审
| 申请号： | 201980038215.3 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN112236550A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·J·巴尼克;布莱恩·L·巴卡柳;加布里埃尔·海·格拉哈姆;阿尔佛雷德·博斯蒂克;肖恩·威尔伯;约翰·弗洛伊德·奥斯特罗夫斯基 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D21/04 | 分类号： | C25D21/04;C25D17/00;C25D17/06;C25D21/12;C25D7/12;H01L21/288 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电镀装置，其包含位于室的底部的电极、水平设置在室顶部的具有穿孔的离子电阻性部件，而在中间设有膜。一或多个板从膜到所述部件竖直地且平行地延伸，并且线性延伸跨越室，在膜与所述部件之间形成了多个区域。将具有沿衬底的弦延伸并与所述部件的顶部表面接触的凸部的衬底设置在第一区域上方。在衬底与所述部件之间流动的电解液在凸部的第一侧经过穿孔下降进入第一区域，并且在凸部的第二侧经过穿孔从第一区域上升，迫使气泡从与第一区域关联的部件的一部分离开。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 去除 气泡 | ||
【主权项】：
暂无信息
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