[发明专利]铝前体和生成含金属膜的方法有效
| 申请号： | 201980024905.3 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111954674B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | C·H·温特;K·布莱克尼;L·迈尔;D·D·施魏因富特;S·魏戈尼;D·瓦尔德曼 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司;韦恩州立大学 |
| 主分类号： | C07F5/06 | 分类号： | C07F5/06;C23C16/12;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 肖威;刘金辉 |
| 地址： | 德国莱茵河*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明属于在衬底上产生无机薄膜的方法的领域，特别是原子层沉积方法。其涉及一种制备含金属的膜的方法，包括：(a)将含金属化合物由气态沉积到固体衬底上，和(b)使沉积有含金属化合物的固体衬底与通式(I)化合物接触，其中Z为C |
||
| 搜索关键词： | 铝前体 生成 金属膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于巴斯夫欧洲公司;韦恩州立大学，未经巴斯夫欧洲公司;韦恩州立大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980024905.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
