[发明专利]微机电系统和纳米机电系统结构在审
| 申请号： | 201980024636.0 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN111954639A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | J·洪;T·常;E·陈;文兵;潘尧令;S·安德鲁斯 | 申请（专利权）人： | 曜晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 丁晓峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制造机电系统结构的方法，其包含制造亚微米结构特征。在某些实施例中，所述结构特征小于微影程序的微影限制。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 纳米 机电 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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