[发明专利]电子装置的制造方法在审
| 申请号: | 201980023429.3 | 申请日: | 2019-03-19 |
| 公开(公告)号: | CN111954925A | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
| 发明(设计)人: | 五十岚康二;木下仁;栗原宏嘉;三浦彻 | 申请(专利权)人: | 三井化学东赛璐株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;C09J7/38;C09J133/00;C09K3/10 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 陈彦;李宏轩 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明的电子装置的制造方法至少具备下述工序:工序(1),准备结构体(100),所述结构体(100)具备粘着性膜(50)、电子部件(70)以及支撑基板(80),所述粘着性膜(50)具备:基材层(10),设置于基材层(10)的第1面(10A)侧且用于临时固定电子部件(70)的粘着性树脂层(A),以及设置于基材层(10)的第2面(10B)侧且粘着力因外部刺激而降低的粘着性树脂层(B),所述电子部件(70)粘贴于粘着性膜(50)的粘着性树脂层(A),所述支撑基板(80)粘贴于粘着性膜(50)的粘着性树脂层(B);工序(2),选自使粘着性膜(50)中的水分量降低的工序(2‑1)和使结构体(100)中的水分量降低的工序(2‑2)中的至少一种,以及工序(3),通过密封材(60)将电子部件(70)进行密封。 | ||
| 搜索关键词: | 电子 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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