[发明专利]薄导电膜的穿基板激光图案化及隔离在审
| 申请号： | 201980012470.0 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111699433A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·格雷戈里·科伊拉德;明煌·黄;李兴华 | 申请（专利权）人： | 康宁公司;视野股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/155 | 分类号： | G02F1/155;B23K26/57 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明案揭示复合结构。复合结构包含基板层(120)、导电层(140)及覆盖层(160)。基板具有第一面(124)及第二面(122)。导电层具有第一面(148)及第二面(149)。导电层的第一面设置在基板层的第二面的至少部分上。导电层的部分(144)具有比导电层上相邻区域(146)高至少约十倍的电阻率。覆盖层可具有第一面(162)及第二面(166)。覆盖层的第一面设置在导电层的第二面的至少部分上，使导电层设置在覆盖层与基板层间。基板层包括在从约180nm至约20μm的电磁波光谱的至少部分上为光学透明的材料。导电层包括具有约10nm或更大的厚度并具有约10Ω‑cm或更小的电阻率的层。导电层包括在从约180nm至约20μm的电磁波光谱的至少部分上可为光学半透明或不透明的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 穿基板 激光 图案 隔离 | ||
【主权项】：
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