[发明专利]抗蚀剂组合物和抗蚀剂膜有效
| 申请号： | 201980007547.5 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111587402B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 星野学 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F12/06;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 杨卫萍;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗蚀剂组合物和形成有良好图案的抗蚀剂膜，该抗蚀剂组合物能够提高旋转涂布时的对基材的涂覆性(涂膜性)和抗蚀剂膜的密合性，且能够形成良好的图案。该抗蚀剂组合物包含聚合物、溶剂和芳香族乙烯基单体，上述芳香族乙烯基单体相对于上述聚合物的含量为10质量ppm以上且30000质量ppm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 抗蚀剂膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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