[发明专利]氮化铝板有效
申请号: | 201980005454.9 | 申请日: | 2019-03-27 |
公开(公告)号: | CN111868010B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 小林义政;小林博治;柴田宏之 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | C04B35/581 | 分类号: | C04B35/581;C30B29/38 |
代理公司: | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人: | 王轶;郑雪娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种氮化铝板,其具备表层和下层。该氮化铝板中,当从厚度方向对表层进行X射线衍射测定时的(002)晶面的衍射强度相对于(002)晶面的衍射强度与(100)晶面的衍射强度之和的比例为c面取向度c1,从厚度方向对表层以外的部位进行X射线衍射测定时的(002)晶面的衍射强度相对于(002)晶面的衍射强度与(100)晶面的衍射强度之和的比例为c面取向度c2,并且表层的(102)晶面的X射线摇摆曲线中的半值宽度为w1、表层以外的部位的(102)晶面的X射线摇摆曲线中的半值宽度为w2时,满足“式1:c1>97.5%”、“式2:c2>97.0%”、“式3:w1<2.5”、“式4:w1/w2<0.995”。 | ||
搜索关键词: | 氮化 | ||
【主权项】:
暂无信息
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