[发明专利]一种用于基板上生长薄膜的承载盘、生长装置和生长方法

摘要

一种用于基板上生长薄膜的承载盘，其包括：承载盘本体，本体包括相对的上表面侧和下表面侧，自上表面侧贯穿下表面侧的孔；孔侧的侧壁上具有多个凹槽，凹槽内具有台面；多个用于支撑基板的支撑块支撑在内侧壁上，并且可单独从承载盘本体上拆卸；每一个支撑块包括第一部分凸起，第一部分凸起自承载盘本体的侧壁侧向孔内部延伸，包括第二部分凸起，第二部分凸起插入到侧壁一个凹槽内并靠凹槽内的台面形成支撑，包括连接第一部分凸起和第二部分凸起的第三部分。通过每一个支撑块的一部分设计为安装入承载盘的沉孔内侧壁的凹槽上，无需额外的固定件，方便安装和拆卸，提高承载盘本体的使用寿命，降低生产成本。