[发明专利]一种用于基板上生长薄膜的承载盘、生长装置和生长方法

权利要求书

1.一种用于基板上生长薄膜的承载盘，其包括：

承载盘本体，本体包括相对的上表面侧和下表面侧，自上表面侧贯穿下表面侧的孔；

孔内的侧壁上具有多个凹槽，凹槽内具有台面；

多个用于支撑基板的支撑块支撑在内侧壁上，并且可单独从承载盘本体上拆卸；每一个支撑块包括第一部分凸起，第一部分凸起自承载盘本体孔内的侧壁侧向孔内部延伸，包括第二部分凸起，第二部分凸起插入到侧壁一个凹槽内并靠凹槽内的台面形成支撑，包括连接第一部分凸起和第二部分凸起的第三部分。

2.根据权利要求1所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述的凹槽内的台面沿着沉孔内侧壁周向延伸或沿着侧壁厚度方向延伸。

3.根据权利要求1所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述的凹槽延伸至承载盘的下表面侧，以使第三部分连接部分嵌入凹槽内。

4.根据权利要求3所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述的支撑块的第二部分凸起和第三部分充满凹槽的空间。

5.根据权利要求1所述的用于基板上的生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述的凹槽为T字型凹槽或直角型凹槽，所述支撑块的第一部分凸起与第二部分凸起互相垂直延伸。

6.根据权利要求1所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述多个支撑块的第一部分凸起具有一弧形边缘。

7.根据权利要求1所述的用于基板上生长的薄膜的承载盘，其特征在于：所述的弧形边缘的弧长为小于1/4的沉孔内侧壁的圆周周长。

8.根据权利要求1所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：每个支撑块的第一部分凸起间隔安装在侧壁的凹槽内。

9.根据权利要求1所述的用于基板上的生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述的孔为沉孔，所述的凹槽上方的侧壁上还有一个水平台阶，水平台阶的位置相对于凹槽更靠近承载盘的上表面侧。

10.一种用于基板上生长薄膜用的承载盘，其包括：

承载盘本体，本体包括相对的上表面侧和下表面侧，自上表面侧贯穿下表面侧的沉孔，多个Z字型的支撑块支撑在内侧壁上，并可单独从承载盘本体上拆卸；每一个支撑块包括第一部分凸起自承载盘本体的侧壁侧向沉孔内延伸，包括第二部分凸起，第二部分凸起被支撑在沉孔内的台阶上。

11.根据权利要求10所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述支撑块的第二部分凸起被支持在台阶上，安装基板时，基板上方具有一盖板，支撑块的第二部分凸起可被夹持在台阶和盖板之间以形成支撑。

12.根据权利要求10或11所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：多个支撑块的第二部分支撑在台阶上形成封闭的环状。

13.根据权利要求10所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述支撑块还包括第三部分，第三部分连接第一部分和第二部分，所述多个支撑块的第三部分在侧壁上形成贴合侧壁的封闭的环状。

14.根据权利要求1或10所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述的多个支撑块为至少4个。

15.根据权利要求1或10所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述的承载盘本体的材料和支撑块的材料相同。

16.根据权利要求1或10所述的用于基板上生长薄膜的承载盘，其特征在于：所述支撑块的第一部分凸起为块状，第一部分凸起具有与支撑基板生长面相对的面为相对倾斜。