[实用新型]一种多晶硅还原炉及其夹套装置

摘要

本实用新型公开了一种夹套装置，包括：套筒；设置于所述套筒内的流道，所述流道为多层，且沿着所述套筒的轴向布置，多层所述流道均围绕炉筒设置，且相邻的两层流道之间相通；进水管和出水管，所述进水管设置在所述套筒的底部，所述出水管设置在所述套筒的顶部，所述进水管与最底层的所述流道相通，所述进水管水平布置，且垂直于所述套筒。由于进水管垂直于套筒布置，那么水流就可以在没有阻力的作用下进入到最底层的流道中，因此能够防止套筒下部出现局部水量不足的现象，从而规避炉筒局部换热效果差，炉内相对应处温场较高，进而提高硅棒的质量。本实用新型还公开了一种多晶硅还原炉。