[实用新型]一种全自动芯片粘接器件的装置有效
申请号: | 201922473427.4 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211017025U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 陆宏;蒋波;蒋友林;周筱卉;陈有林;李建辉;苏成方;毕军;李磊 | 申请(专利权)人: | 昂纳信息技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及芯片粘接器件领域,具体涉及一种全自动芯片粘接器件的装置。所述装置包括芯片进料组件、器件进料组件、设置在上方的XZ轴移动组件和与XZ轴移动组件连接的功能台,所述功能台上设有将器件进料组件上的器件与芯片进料组件上的芯片进行对位的对位组件,以及对对位点进行位置尺寸自动识别的监控组件,以及向对位点进行点胶的点胶组件,以及向对位点进行固化的固化组件。本实用新型的有益效果在于,与现有技术相比,本实用新型通过全自动芯片粘接器件的装置,实现机器自动完成对位、点胶和固化,通过摆料、尺寸测试等对整个产品记性组装动作,实现全自动器件贴芯片。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 芯片 器件 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造