[实用新型]集成电路器件刻除装置有效

专利信息
申请号: 201922434986.4 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN211088220U 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 陈国军 申请(专利权)人: 上海翔芯集成电路有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海合进知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31324 代理人: 王寿刚
地址: 201800 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了集成电路器件刻除装置,包括底座板、下模仁、导柱、上连接板、上模板和刻除装置,下模仁通过连接架固定连接在底座板的顶面,多个导柱连接在底座板的顶面,上连接板贯穿导柱并和导柱滑动连接,上连接板的底面连接有上模板,上模板和上连接板之间连接有多个弹簧座;上模板上设有多个贯穿上模板的连接通孔,刻除装置和上模板的连接通孔可拆卸连接;工件连接在下模仁内,上模板下降带动刻除装置对工件刻除;本实用新型设计的刻除装置,能够将其安装在需要的位置,使用时,通过下压上连接板带动刻除装置下降,能够完成对集成电路上器件的刻除,提高了刻除的安全性可准确性,保证了刻除的效果。
搜索关键词: 集成电路 器件 装置
【主权项】:
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