[实用新型]集成电路器件刻除装置有效
申请号: | 201922434986.4 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN211088220U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 陈国军 | 申请(专利权)人: | 上海翔芯集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海合进知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31324 | 代理人: | 王寿刚 |
地址: | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成电路 器件 装置 | ||
本实用新型公开了集成电路器件刻除装置,包括底座板、下模仁、导柱、上连接板、上模板和刻除装置,下模仁通过连接架固定连接在底座板的顶面,多个导柱连接在底座板的顶面,上连接板贯穿导柱并和导柱滑动连接,上连接板的底面连接有上模板,上模板和上连接板之间连接有多个弹簧座;上模板上设有多个贯穿上模板的连接通孔,刻除装置和上模板的连接通孔可拆卸连接;工件连接在下模仁内,上模板下降带动刻除装置对工件刻除;本实用新型设计的刻除装置,能够将其安装在需要的位置,使用时,通过下压上连接板带动刻除装置下降,能够完成对集成电路上器件的刻除,提高了刻除的安全性可准确性,保证了刻除的效果。
技术领域
本实用新型涉及集成电路生产制造技术领域,具体涉及集成电路器件刻除装置。
背景技术
集成电路封装行业的生产制程中,会有不良品,需要在整条框架成型前对单颗器件刻除。目前普遍做法是人工手动拿刀在框架上将需要刻除的器件刻除。人工刻除器件,刻除效果无法保证,还会有刻坏其它器件的风险。
如图1所示,集成电路上包括多个器件,如其中的某个器件为残次品,则需要将其刻除,如何能够有效的将其刻除,且不损伤其他的器件,是我们需要考虑的问题。
发明内容
本实用新型的目的在于提供集成电路器件刻除装置,以解决现有技术中集成电路上的器件刻除困难的问题。
为达到上述目的,本实用新型是采用下述技术方案实现的:
集成电路器件刻除装置,包括底座板、下模仁、导柱、上连接板、上模板和刻除装置,所述下模仁通过连接架固定连接在所述底座板的顶面,多个所述导柱连接在所述底座板的顶面,所述上连接板贯穿所述导柱并和所述导柱滑动连接,所述上连接板的底面连接有上模板,所述上模板和所述上连接板之间连接有多个弹簧座;
所述上模板上设有多个贯穿所述上模板的连接通孔,所述刻除装置和所述上模板的连接通孔可拆卸连接;工件连接在所述下模仁内,上模板下降带动所述刻除装置对工件刻除。
进一步地,所述下模仁包括模仁主体、定位柱、通槽,所述模仁主体的顶面设有模仁腔,所述定位柱连接在所述模仁腔内,所述通槽贯穿所述模仁主体并和所述模仁腔相连通;工件通过定位柱固定在所述模仁腔内。
进一步地,所述上连接板的底面上还连接有限位挡块,所述限位挡块的长度小于所述弹簧座处于自然状态下的长度。
进一步地,所述导柱的顶端螺栓连接有限位座。
进一步地,所述刻除装置包括螺杆和刀头,所述刀头连接在所述螺杆的一端,所述螺杆通过螺母和所述连接通孔相连接。
进一步地,所述底座板上还连接有竖板,所述竖板上连接有气缸座,所述气缸座上连接有气缸,所述气缸的输出轴和所述上连接板的顶面相连接。
进一步地,所述上连接板的两侧连接有滑块,所述竖板上还连接有连接座,所述连接座上固定有滑轨,所述滑块和所述滑轨滑动连接。
进一步地,所述滑轨和所述导柱的设置方向相同。
进一步地,所述上连接板的顶面连接有把手。
根据上述技术方案,本实用新型的实施例至少具有以下效果:
1、本实用新型设计的刻除装置,能够将其安装在需要的位置,使用时,通过下压上连接板带动刻除装置下降,能够完成对集成电路上器件的刻除,提高了刻除的安全性可准确性,保证了刻除的效果;
2、本装置设置了滑块和滑轨,上连接板上下运动时,滑块在滑轨内滑动,结合导柱的设置,保证了上连接板上下运动的稳定性,并保证了刻除装置切除器件的精度。
附图说明
图1为背景技术中集成电路的示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造