[实用新型]一种MEMS传感器和电子设备有效
| 申请号： | 201922418542.1 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211089970U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波;冷群文;丁凯文 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 柳岩 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本实用新型公开了一种MEMS传感器和电子设备。该MEMS传感器包括：在X轴和Y轴组成的平面上分布有第一衬底和第二衬底，所述第一衬底与第二衬底被配置为能产生沿Z轴方向上的相对振动；磁体，所述磁体的磁化方向在X轴和Y轴形成的平面内，所述磁体设置在所述第一衬底上，所述磁体的磁场强度大于8*10 |
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| 搜索关键词： | 一种 mems 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
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