[实用新型]一种MPCVD设备基板台冷却管定位结构

摘要

本实用新型公开了一种MPCVD设备基板台冷却管定位结构，包括基板台、支撑台，基板台设于支撑台上，支撑台内设有传输冷却液的冷却管，所述冷却管上设有中心定位件，中心定位件用于冷却管定位于基板台底部正中心位置，中心定位件包括定位套，定位套上设有用于冷却管定位的第一管孔，定位套安装于支撑台底部，定位套上设有通水孔，还包括支撑台连接件,支撑台连接件为中空结构，定位套套接于支撑台连接件上端，支撑台连接件连接于支撑台底部。通过中心定位件保证冷却管处于基板台底部正中心位置，实现冷却液均匀喷淋覆盖在支撑台内部的上端面，基板台与支撑台紧密贴合安装，进而实现基板台冷却均匀，有利于MPCVD设备基板台上样品的金刚石膜沉积。