[实用新型]一种MEMS芯片及包括其的MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922406087.3 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211792035U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 周宗燐 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 266061 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS芯片及包括其的MEMS麦克风，所述芯片包括有具有背腔的衬底层，在所述衬底层上设置有由振膜层、第一绝缘层、背极层构成的平板电容器结构；所述振膜层上形成有泄压孔和覆盖所述泄压孔的过滤网。本实用新型提供的MEMS芯片，可确保泄压孔的泄压能力的同时，避免微尘粒子因吹气进入到MEMS芯片内而造成芯片性能受损，提高MEMS芯片的可靠性；再者，过滤网可有效缓冲进入至振膜层中的高压气流，防止高压气流对振膜层造成的损害；而且泄压孔和过滤网的制备工艺简单，易于实现；另外，通过设置覆盖泄压孔的过滤网还可将过滤网对麦克风的信噪比(SNR)的影响降到最低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片 包括 麦克风 | ||
【主权项】：
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