[实用新型]冷却气氛循环风道

摘要

本实用新型提供一种冷却气氛循环风道，包括主风道、主风机、辅助风道和辅助风机；所述主风机设置于工艺炉冷却腔底部；所述主风道由所述工艺炉冷却腔内腔和所述工艺炉冷却腔内部舟组之间的缝隙组成；所述工艺炉冷却腔上方设置与所述工艺炉冷却腔内部相连通的风槽，所述风槽顶部开设排风口，所述风槽侧面为倾斜面，所述倾斜面上开设顶风槽溢风口，所述顶风槽溢风口处设置空气过滤袋；所述辅助风道与所述辅助风机相连通，所述辅助风道设置于所述工艺炉冷却腔内部，位于所述工艺炉冷却腔上部，所述辅助风道设置开口朝下的辅助风道出口。解决了现有的工艺炉，应用原子层沉积法在太阳能光伏晶硅电池片背面做Al2O3钝化层时冷却腔内热交换速率较低的问题。