[实用新型]冷却气氛循环风道

说明书

本实用新型提供一种冷却气氛循环风道，包括主风道、主风机、辅助风道和辅助风机；所述主风机设置于工艺炉冷却腔底部；所述主风道由所述工艺炉冷却腔内腔和所述工艺炉冷却腔内部舟组之间的缝隙组成；所述工艺炉冷却腔上方设置与所述工艺炉冷却腔内部相连通的风槽，所述风槽顶部开设排风口，所述风槽侧面为倾斜面，所述倾斜面上开设顶风槽溢风口，所述顶风槽溢风口处设置空气过滤袋；所述辅助风道与所述辅助风机相连通，所述辅助风道设置于所述工艺炉冷却腔内部，位于所述工艺炉冷却腔上部，所述辅助风道设置开口朝下的辅助风道出口。解决了现有的工艺炉，应用原子层沉积法在太阳能光伏晶硅电池片背面做Al₂O₃钝化层时冷却腔内热交换速率较低的问题。

技术领域

本实用新型涉及晶硅太阳能电池片背面钝化层生产设备技术领域，具体而言，尤其涉及一种冷却气氛循环风道。

背景技术

太阳能光伏电池始终向着提高转换效率和降低成本等方面发展。引入新思路、新技术，革新技术路线，优化生产线工艺过程等方面，是提高转换效率和降低成本等方面的重要举措；电池片表面钝化处理技术的优化与革新，一直是电池片设计和工艺技术优化的重中之重。在电池片背面，添加电解质Al₂O₃钝化层，是表面钝化技术从电场钝化等工艺技术进化过来的，这项技术能够最大化地跨越P-N结的电势梯度，使电子更为稳定地流动，减少电子重组，提高转换效率。

该技术应用在生产线上，保持电池片背面钝化层质量更佳和质量稳定，以及产能最大化，是降低成本、增强市场竞争力的需要。耗能少、加热速度快、温度均匀性好是在电池片背面，通过化学反应，以ALD法生成Al₂O₃钝化层的必要条件，也是产能最大化和降低成本等方面的必然要求，但是在使用现有的工艺炉，应用原子层沉积法在太阳能光伏晶硅电池片背面做Al₂O₃钝化层时冷却腔内热交换速率较低。

实用新型内容

根据上述提出现有的工艺炉，应用原子层沉积法在太阳能光伏晶硅电池片背面做Al₂O₃钝化层时冷却腔内热交换速率较低的技术问题，而提供一种冷却气氛循环风道。本实用新型通过冷却气氛循环风道机构，得到一种风阻小、能耗少、冷却速度快和温度均匀性好的工艺炉冷却腔气氛循环风道技术。

本实用新型采用的技术手段如下：

一种冷却气氛循环风道，包括主风道、主风机、辅助风道和辅助风机；所述主风机设置于工艺炉冷却腔底部，从所述工艺炉冷却腔底部向上送风；所述主风道由所述工艺炉冷却腔内腔和所述工艺炉冷却腔内部舟组之间的缝隙组成；所述工艺炉冷却腔上方设置与所述工艺炉冷却腔内部相连通的风槽，所述风槽顶部开设排风口，所述风槽侧面为倾斜面，所述倾斜面上开设顶风槽溢风口，所述顶风槽溢风口处设置空气过滤袋；所述辅助风道与所述辅助风机相连通，所述辅助风道设置于所述工艺炉冷却腔内部，位于所述工艺炉冷却腔上部，所述辅助风道设置开口朝下的辅助风道出口。

进一步地，所述辅助风道通过辅助风道管线连接件与所述辅助风机相连通。

进一步地，所述主风机与所述工艺炉冷却腔之间设置主风机防护网。

进一步地，所述风槽与所述工艺炉冷却腔之间设置冷却腔防护网。

进一步地，所述工艺炉冷却腔内部侧面相对设置有电池片保护气体抽取组件和电池片保护气体充气组件。

进一步地，包括4个所述主风机。

较现有技术相比，本实用新型具有以下优点：