[实用新型]一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构有效
申请号: | 201922258347.7 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN211125611U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 冯霞霞 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 袁兴隆 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构,包括转台、第一甩臂、第二甩臂和第一驱动电机,所述第一驱动电机的输出轴与所述转台固定连接并可驱动所述转台转动以在旋转方向调节所述第一甩臂和所述第二甩臂的位置;所述第一甩臂通过第一竖直调节机构活动设置在所述转台上,可驱动所述第一甩臂沿竖直方向移动;所述第二甩臂通过第二竖直调节机构活动设置在所述转台上,可驱动所述第二甩臂沿竖直方向移动,通过转台带动两个甩臂转动,第一甩臂进行固晶操作的同时,第二甩臂进行取晶操作,进而提高了生产效率,降低了生产成本,同时偏心轮和支撑轴的竖直调节机构产生的噪音较小,避免了噪音过大对作业员造成身心健康造成损害。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 双头固晶 装置 驱动 机构 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造